光學(xué)微電子凈化工程目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)1藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。是將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微塵粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫濕度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給于特別設(shè)計(jì)之密閉空間。
無(wú)塵車(chē)間在設(shè)計(jì)時(shí)一定要符合生產(chǎn)工藝過(guò)程的要求。不管是上工序還是下工序,兩者間的運(yùn)輸距離要短,盡量避免迂回和往返運(yùn)輸。車(chē)間的地面要用堅(jiān)固、防滑、易清潔、不滲水、耐腐蝕的材料鋪制;墻面則要鋪有2米以上的墻裙,無(wú)塵車(chē)間報(bào)價(jià),墻面用耐腐蝕、易清洗消毒、堅(jiān)固、不滲水的材料鋪制及用淺色,防水、無(wú)毒、不易脫落、防霉、可清洗的材料覆涂。
凈化車(chē)間主要作用在于控制產(chǎn)品所接觸的大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,以保證產(chǎn)品質(zhì)量,此空間我們稱(chēng)之為凈化車(chē)間。潔凈區(qū)的主體結(jié)構(gòu)不宜采用內(nèi)墻承重,主體結(jié)構(gòu)的耐久性需要與室內(nèi)裝備和裝修水平相協(xié)調(diào),并具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷的性能;潔凈室頂棚,墻面和地板的材料必須是不易破1裂、不易沾顆粒,以及幾乎不起塵的。另外根據(jù)房間不同的工作條件,還必須考慮材料的化學(xué)性能是否穩(wěn)定;潔凈室的高度以?xún)舾呖刂?,凈高?yīng)以100mm為基本模數(shù);凈化車(chē)間廠房的變形縫應(yīng)盡量避免穿過(guò)潔凈區(qū);送、回風(fēng)管和其他管線需暗敷時(shí),應(yīng)設(shè)置技術(shù)夾層、技術(shù)夾道或地溝等。